【作 者】廖政堂

　　【前 言】

　　ITO 是氧化銦錫的英文縮寫，電阻率低以及透光率高是它的特點(diǎn)，所以 ITO 靶材非常適合制作太陽能電池、顯示器以及導(dǎo)電玻璃。在液晶顯示器領(lǐng)域，越來越大的屏幕，色彩的要求越來越高，ITO 的發(fā)展舉足輕重。成形工藝決定著 ITO靶材的質(zhì)量。ITO 靶材成形技術(shù)基本上可分為兩種：干法和濕法。干法的優(yōu)點(diǎn)是生產(chǎn)方便，不需要進(jìn)行干燥處理，通過壓力成形。濕法成形是需要各種形態(tài)的物體混合進(jìn)行反應(yīng)，之后進(jìn)行干燥處理，制作出來的靶材尺寸都比較大。

　　【展 望】

　　智能行業(yè)的興起，需要有屏幕顯示的支撐，對 ITO 靶材的需求量越來越多。我國制作 ITO 靶材的工藝雖多，但是需要找出一個(gè)最適合的，對制作出來的 ITO 靶材需要具有高密度，電阻率低的特點(diǎn)，另外尺寸可以任意定制?，F(xiàn)階段，我國高端 LCD 面板的使用還主要依靠著進(jìn)口解決，注漿成形技術(shù)雖然可以制作出高密度，大尺寸的 ITO 靶材，但是對于一些高端產(chǎn)品還有一定的差距，而且在制作時(shí)，添加了太多的化學(xué)藥品，會出現(xiàn)濺射鍍膜結(jié)瘤的問題。模壓成形+冷等靜壓工藝雖然添加的化學(xué)藥品較少，但是受到壓機(jī)和模具尺寸的約束，制作大尺寸 ITO 靶材難度較大，成本也較高。目前已有國內(nèi)廠家采取模壓成形+冷等靜壓成型工藝，突破了技術(shù)瓶頸，靶材產(chǎn)品通過了京東方、華星光電、天馬等國內(nèi)高端面板廠商的測試認(rèn)證，并逐步批量化供應(yīng)，開始進(jìn)行國產(chǎn)化替代。為了早日實(shí)現(xiàn) ITO 靶材自主國產(chǎn)，需要在成形工藝和燒結(jié)階段做更多的研究，打造出一套完整成形工序。

　　以下是正文：